第两百七十二章 突如其来的质问 (第2/6页)
定突破方案的一年，从而促使这一竞争进入了关键时期。
其中包括157nm f2激光方案，电子束投射方案，离子投射方案，euv方案和x光方案等等。
至于最终的战果，后世的人都很清楚，阿斯麦基于林本坚的思路推出了浸入式光刻机，一举干翻尼康，从此成为了光刻机市场唯一的霸主。
这里有一个很有趣的点在于，浸入式光刻机的核心理论就是在晶圆光刻胶上方加1mm厚的水，然后水可以把193nm的光波长折射成134nm。
相比于尼康的157nm f2激光方案，相比于英飞凌的0.00005nm离子投射方案，相比于朗讯实验室的电子投射方案，这是实现成本最低，实现方式最简单的方案。
可就是这样一个最低廉最简单方案，最终却成为了当下的最优方案。
这也是技术发展有意思的地方之一。
很多时候，往往是一个简单的突破点改变了一个影响全世界的产业。
所以对华夏的这些科研机构和高校来说，大家想要在这个时候重视光刻机的研发，自然绕不开光源突破这个话题。
而从大家的表述来看，90%以上的人都倾向于尼康的157nm f2激光方案。
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