336.第336章 风向变了 (第1/19页)
通城,智云微电子总部,徐申学看了第二厂,视察了当地的十二纳米产线后,又去看了已经完成了厂房施工的第二十五厂。
第二十五厂,也是智云微电子为等效七纳米工艺所准备的工厂,从厂房再到设备,全部都是按照等效七纳米工艺所准备的,整体投资预计会超过八十亿美元,相当夸张。
“我们准备在第二十五厂里,同时建设两条产线,一条产线采用进口的ASML公司的NXT1980光刻机,第二产线则是采用海湾科技的HDUV-600光刻机!”
“两种光刻机的套刻精度都是二点五纳米,按照我们的设计方案,都是能够满足等效七纳米工艺的技术需求!”
“为了确保等效7纳米工艺准时准点的完成技术认证,我们在第一产线上全部使用进口设备,目前所有设备都已经下单,部分已经到货,第一台NXT1980光刻机将会在十天后到货,所有设备将会在今年十二月份前全部到货,明年第一季度就能够完成设备的安装和调试,并展开技术认证工作。”
“乐观的话,明年第三季度就能完成技术认证,开始为量产化进行准备,但是考虑到四重曝光带来的低良率问题,我们想要解决这个低良率问题预计也需要大量的时间。”
“想
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